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材料表面特性及結(jié)構(gòu)表征

材料表面特性及結(jié)構(gòu)表征






















材料表面特性及結(jié)構(gòu)表征 ——SEM+EDS

基本原理:

電子槍發(fā)出電子,經(jīng)過加速電壓加速后轟擊到測試樣品表面,激發(fā)出各種信號,其中有二次電子(SEI),被散射電子(BEI),特征X-ray,俄歇電子等信號,其中SEI及BEI用于成像,特征X-ray則用于材料表面元素分析。

目的意義:

通過對涂鍍層、形貌、表面元素的測試,可以監(jiān)控產(chǎn)品質(zhì)量,有助于改善工藝。

樣品的要求:

非磁性,不易潮解,且無揮發(fā)性的固態(tài)樣品,尺寸要求:小于3CM*3CM*3CM樣品。若樣品不符合要求尺寸,須告知樣品可否破壞!

測試項目:

1.表面形貌觀察,斷口觀察 :JY/T 010-1996 分析型掃描電子顯微鏡方法通則

2.微薄鍍層厚度測量 :GB/T 16594-1996 微米級長度的掃描電鏡測量

3.表面元素定性半定量分析 :GB/T 17359-1998 電子探針和掃描電鏡X射線能譜定量分析通則

4.錫須觀察 :JESD 22a121

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